:靶材;(1) 高**属靶材及蒸发料: 如高纯Ni Ti Cu Co Cr v Fe Hf Zr Sn Ge 等稀有金属 : Au Ag Pt pd Ru Ir 等贵金属。 (2) 合金靶材;如NiV NiCr FeHf FeCo CoCr CoTaZr CuGa CuIn NbTi NbZr WTi SiAl TiAl AuBe AuGe AuSn AgCu等稀有及贵金属合金 2:贵金属材料: ( 1) 贵金属焊料 : 银合金焊料:AgCu28 AgCuZn 系列 AgCuPd 系列 AgCuIn 系列 金合金焊料; AuNi17.5 AuCu20 AuCu50 AuAgCu20-20 AuGe12 AuSn20 等 (2)贵金属功能材料 银合金: AgCu10 AgCu12.5 AgCuV AgCuNi AgAu 等 金合金 AuNi9 AuNiCu AuAgCu AuNiFeZr AuAgCuNi AuCuNiZn AuCuNiZnMn AuCuAgZn AuCuPtAgZn 等 钯合金 PdAg40 pdAgCu36-4 PdAgCuAuPtZn PdAgCuPtNi pdIr10 pdIr18等 铂合金 PtIr10 PtIr20 PtRh5 PtRh10 PtNi5等